仟净环保亮相深圳半导体展 国产超纯水设备破解芯片制造"水质密码"

深圳，2025年9月12日（今日22:36） —— 在刚刚闭幕的2025深圳国际半导体展会上，东莞仟净环保设备有限公司以工程级超纯水系统与智能实验室水控设备双线产品矩阵引爆关注。针对晶圆外延、封装及碳化硅晶圆打磨等关键环节，其展品以18MΩ·cm超高电阻率（杂质含量≤0.05ppb）和72小时快速部署能力，吸引多家头部半导体企业现场签定试产协议。

工程级设备攻克量产瓶颈

• 半层体超纯水系统采用四级纯化工艺（预处理→反渗透→EDI→抛光混床），突破性实现TOC≤1ppb，满足5nm制程对钠/钾离子的极限要求（≤5ppt）

• 模块化设计使设备占地面积缩减40%，支持晶圆厂产线灵活扩容，安装周期较国际竞品缩短50%

实验室设备赋能研发创新

• 中小型超纯水机集成AI预测性维护系统，实时监控硅溶胶、颗粒物等12项参数，确保碳化硅晶圆打磨用水的纳米级洁净度（≥Class 0.1）

• 独有的双回路供水架构可同时满足清洗（18MΩ·cm）与实验（16MΩ·cm）差异化需求，设备能耗下降35%

国产替代进程加速

展会期间，仟净与东莞松山湖材料实验室达成战略合作，共建半导体用水联合创新中心。公司创始人透露："目前工程系列设备已导入某半导体8英寸线，良率提升0.8%。"据SEMI数据，2025年中国超纯水设备市场规模将突破62亿元，仟净凭借近三年23%的复合增长率，稳居国产份额前三。

行业观察
随着第三代半导体产能扩张，碳化硅晶圆对水质敏感度提升十倍。仟净通过晶圆级水质映射技术（已申请专利），将纯水波动控制在±0.05MΩ·cm，为国产芯片制造筑牢"水基石"。